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        電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)

        發布時間:2020-07-03 10:27:26  來源:優爾普儀器  瀏覽量:0

        本文共計有1764個文字,預計閱讀時間6分鐘

        關鍵詞:實驗室超純水(www.sieuthibazan.com)

        [摘要]:電子級超純水中國國家標準(GBT11446.1-1997)規定了電子元器件生產和清洗用水的級別、要求、試驗方法和檢驗規則,本文就和大家分享此標準。

          電子元器件生產和清洗用水需要使用實驗室超純水機來制備,電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)細則如下:

        1、范圍

        本標準規定了電子級水的級別、要求、試驗方法和檢驗規則。

        本標準適用于電子元器件生產和清洗用水。

        2、引用標準

        下列標準所包含的條文,通過在本標準中引用麗構成為本標準的條文。本標準出版時,所示版本均為有效。所有標準都會被修訂,使用本標準的各方應探討使用下列標準zui新版本的可能性。

        GB/T 11446.3——1997 電子級水測試方法通則

        GB/T 11446.4——l997 電子級水電阻率的測試方法

        GB/T 11446.5——1997 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法

        GB/T 11446.6——1997 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法

        GB/T 11446.7——1997 電子級水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測試方法

        GB/T 11446.8——1997 電子級水中總有機碳的測試方法

        GB/T 11446.9——1997 電子級水中微粒的儀器測試方法

        GB/T 11446.10——1997 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法

        3、定義

        本標準采用下列定義。

        3.1 電子級水electronic grade water

        制造電子元器件工藝過程中所用的高純水。

        3.2 電阻率resistivity

        在規定溫度下,1 cm2水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號P表示,單位為Ω﹒cm,純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃)。

        3.3 全硅total silicon

        水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。

        3.4 可溶性硅soluble silicon

        以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽。

        3.5 微粒性物質granular matter

        除氣體以外,以非液態分散在水中,并形成非均相混合物的物質。

        3.6 總有機碳(TOC) total organic carbon

        水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。

        3.7 吸附absorption

        某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的能力。

        3.8 凝聚coagulation

        在源水中加入某種電解質后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和,從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現象。

        3.9 絮凝flocculation

        水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進行,可除去水中更細的微粒。

        3.10 砂濾器sand filter

        用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。

        3.11 活性碳過濾器activated carbon filter

        裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。

        3.12 離子交換ion exchange

        一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質并無實質性結構變化。

        3.13 去離子水deionized water

        經過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質的高純水。

        3. 14 再生regeneration

        離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中,用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。

        3.15 復合床complex bed

        將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中,將兩柱串聯,使水依次通過兩個柱而被純化,復合床處理水的純度雖不及混合床,但操作較簡單。

        3.16 混合床mixed bed

        將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當于許多組合床串聯使用,出水質量好但再生比較麻煩。

        3.17 電滲析electrodialysia

        一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成一系列小室,水流通過小室時,在直流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動,但不能通過陽膜;陰離子則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。

        3.18 反滲透reverse osmosis

        亦稱逆向滲透。一種利用滲透原理進行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開,并在濃水上施加比滲透壓更強的機械壓力,則濃水中大部分水透過半透膜而雜質仍留在其中,達到分離提純的目的。

        3.19 反滲透膜reverse osmosis membrane

        用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0. 02 μm或更小,可用于除去無機離子、有機物、細菌等,使水純化。

        3.20 微孔膜濾器membrane filter

        一種平均孔徑(直徑)大于0. Olμm的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。

        3.21 超過濾uhrafihration

        一種過濾方法,在一定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。

        3.22 終端terminal

        高純水生產流程中經過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點。

        4、分類

        4.1 電子級水分為四個級別:I級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。

        4.2 標記

        I級電子級水標記為:EW-I;

        I級電子級水標記為:EW-Ⅱ;

        I級電子級水標記為:EW-Ⅲ;

        Ⅳ級電子級水標記為:EW-Ⅳ。

        5、要求

        電子級水的技術指標應符合表1的規定。

        電子級水技術指標表電子級水技術指標表

        6、試驗方法

        6.1 電阻率

        電子級水的電阻率按GB/T11446.4--1997的測試方法進行測定。

        6.2 全硅含量(以二氧化硅計)

        電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按GB/T11446.6--1997的測試方法進行測定。

        6.3 微粒數

        電子級水中微粒數按GB/T11446.9--1997的測試方法進行測定。

        6.4 細菌總數

        電子級水中細菌總數按GB/T11446.10--1997的測試方法進行測定。

        6.5 痕量金屬含量

        電子級水中痕量金屬的含量按GB/T11446. 5--1997的測試方法進行測定。

        6.6 氯離子,硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

        電子級水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7-- 1997的測試方法進行測定。

        6.7 總有機碳含量

        電子級水中總機碳含量按GB/T11446.8--1997的測試方法進行測定。

        7、檢驗規則

        7.1 檢驗部門

        電子級水的檢驗均應在制造廠的水質檢驗部門進行。

        7.2 檢驗分類

        電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。

        7.3 交收檢驗(抽驗項目)

        7.3.1 電子級水技術指標中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。

        7.3.2 在用水終端采樣試驗后檢驗結果如有一項不合格時,應再次采樣進行檢驗,如仍有一項指標不合格,應提出改進措施直到水質合格。

        7.4 例行檢驗(全檢項目)

        例行檢驗每年進行一次,當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗。

        7.4.1 檢驗項目為表1規定的全部技術指標要求。

        7.4.2 在用水終端采樣后進行例行檢驗,檢驗結果如有一項以上不合格時,應再次采樣進行檢驗,如仍有一項以上指標不合格,應提出改進措施直到水質合格。

        8、采樣、貯存、運輸及標志

        8.1 電子級水的采樣、貯存運輸按GB/T11446.3--1997的規定。

        8.2 標志:在用水終端采樣進行檢驗時,水質合格后應附有檢驗合格證,合格證應注明:名稱及級別、各項技術指標、制水單位、供水日期、檢驗員簽章及檢驗日期。

          以上就是電子級超純水中國國家標準(GBT11446.1-1997)的詳細內容,有需要的朋友可以進行參考。

        標題:電子級超純水中國國家標準(GB/T11446.1-1997)      地址:http://www.sieuthibazan.com/news/135.html
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